一種用于清洗精密機構中零部件的一體化環保真空超聲波清洗機裝置，在常壓狀態下被清洗物浸泡在清洗液中，微孔以及一些細小的部位難以被洗凈液所浸透，抽真空以后，留存在洗凈液內部的氣體逐漸減少，提高了清凈液溶解油份能力與去污能力，清洗液可滲透到每一個細小的角落，實現了更加精密的洗凈，設備組成包括清洗槽、外殼、超聲波發生器、循環過濾裝置、抽真空裝置、蒸餾回收裝置，清洗劑循環回路系統，外殼內有真空槽，清洗槽套裝于真空槽內，抽真空裝置與真空槽連通，蒸餾回收裝置與內循環過濾裝置連接成清洗劑循環回路，主要是利用真空與超聲波清洗相結合的辦法，使污垢能快速去除，工件能快速干燥，達到最佳清洗效果。

主要特點是

1.將真空清洗和超聲波清洗技術有機地結合起來，并實現清洗干燥一體化；

2.將清洗設備與清洗劑內循環及回收利用設備組成一個自動循環系統；

3.能對精密機械、精密電子、醫療器械等中的微孔、細小盲孔以及狹小窄縫

里的污垢、雜質，按各行業的要求進行有效的清洗和干燥；

4.該工藝的清洗干燥過程快速，環保，節能；

5.整個清洗干燥工藝過程根據工藝要求實現有節奏的自動控制；

一體化環保真空超聲波清洗，在不斷上升的真空壓力下，殘留在清洗液中的氣泡因超聲波的強大作用下，快速去除，成為一種非常實用的超聲波清洗裝置。