超聲波氣相清洗技術能夠通過超聲波空化的原理，以及加熱管的升溫，將清洗溶液的溫度不斷升高，當達到一定溫度后，關閉加熱管，工件周圍形成的微小氣泡氣化并形成蒸氣，工件在蒸氣的作用下，表面的油污及積垢被逐漸溶解，當蒸氣遇到空氣之后，連同污垢一起凝結成固體，然后從工件表面脫落到清洗槽內。如果這時再接通加熱管，使清洗槽升溫，清洗溶液產生的氣泡和脫落下來的油污都會被氣化，形成能夠用于清洗工件的蒸氣，再與工件表面的殘余污垢接觸，產生一系列的變化，從而達到清潔的效果。超聲波氣相清洗技術就是通過這種循環的清洗方式，將工件表面的油污逐漸清洗徹底的，這一技術的優勢是不需要擔心使用過的清洗溶液變得污濁，因為污垢會被氣化而蒸發掉，始終能夠保持清洗溶液的清澈。

目前，超聲波氣相清洗技術所使用的清洗溶液必須具有不易燃燒且易揮發的特性，例如甲基氯仿、氟氯烴等有機溶劑。通過這些有機溶劑的輔助，再加之超聲波氣相技術的作用，能夠起到相當高精度的清洗效果。另外，還能夠附加冷卻干燥裝置，快速冷卻工件的同時，還能夠將工件表面的水分快速烘干，直接進入下一環節或者包裝出售。

超聲波氣相清洗設備能夠選用不銹鋼材質制成，這一材料的優點是不易生銹，且耐腐蝕。該設備主要由一個超聲波清洗槽及一個蒸氣槽共同組成。自帶的冷凝裝置能夠在清洗溶液還沒有揮發之前，就將蒸氣快速冷卻凝固成固體，再進入接下來的清洗工序之中。該設備是一種造價低廉，環保無污染的綠色清洗設備。這一設備比較適合用于清洗大量的電路板、電子零部件、五金部件等電子、工業加工工件。