超聲波的頻率高低與空化作用有相當大的關系，超聲波頻率越高，空化作用值越大，聲壓強度也越大。超聲波頻率越低，產生的空穴大但數量少，爆破力強，超聲波頻率增加時，空穴小而數量多，爆破力小而范圍廣，清洗比較精細。

如果頻率增加到超高頻近千KHZ時將不再產生空化作用，其清洗能量主要是靠加速度能量，將達到重力加速度的100倍，用于去除亞微米粒子污染，國內應用領域較少。

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