多晶硅主要有哪些污垢組成？在生產(chǎn)過(guò)程中的油脂、灰塵、水份、氯離子殘留、氧化物等，焊渣、焊藥的主要成分為鈦、錳、鉻、鐵等金屬氧化物，而切削油和防銹油及表面涂層則是一些高分子有機(jī)物，這些物質(zhì)可能造成多晶硅反應(yīng)速度減慢，產(chǎn)量降低，甚至硅反應(yīng)停止。而多晶硅的清洗主要工藝為酸洗、脫脂、鈍化、干燥等，在多晶硅設(shè)備的清洗中，主要清洗還原爐、氫化爐、CDI設(shè)備、合成車(chē)間、還原氫化車(chē)間、精餾系統(tǒng)、中間罐、管道等主要設(shè)備。

　　生產(chǎn)多晶硅的工藝較多，各個(gè)國(guó)家生產(chǎn)廠家在開(kāi)發(fā)新技術(shù)、進(jìn)行技術(shù)改造的同時(shí)，通過(guò)對(duì)設(shè)備的清洗來(lái)降低能耗和保證多晶硅的產(chǎn)品質(zhì)量。提高設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)率，延長(zhǎng)使用壽命，爭(zhēng)取以最低的能耗，生產(chǎn)出更多的多晶硅產(chǎn)品。　

因此我們推薦超聲波清洗，借助于表面活性劑的潤(rùn)濕、滲透、乳化、增溶、分散等作用, 使沾污在多晶硅表面的附著力削弱，從而脫離 多晶硅表面，而進(jìn)人清洗液中被乳化，分散開(kāi)。

在清洗液中超聲波清洗多晶硅其原理主要是“超聲空化”，超聲波振動(dòng)在液體中傳播的音波壓強(qiáng)達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí)， 其功率密度為O.35 W/cm, 這時(shí)超聲波的音波壓強(qiáng)峰值就可達(dá)到真空或負(fù)壓，但實(shí)際上無(wú)負(fù)壓存在，因此在液體中產(chǎn)生一個(gè)很大的壓力，將液體分子拉裂成空洞一空化核，在超聲波壓強(qiáng)反向達(dá)到最大時(shí)破裂，由于破裂而產(chǎn)生的強(qiáng)烈沖擊將多晶硅表面的污物撞擊下來(lái)，而這種由無(wú)數(shù)細(xì)小的空化氣泡破裂而產(chǎn)生的沖擊波現(xiàn)象稱(chēng)為“空化”現(xiàn)象。近年來(lái)，無(wú)錫雷士超聲波清洗機(jī)廠生產(chǎn)的雷士超聲波清洗機(jī)，在多家國(guó)內(nèi)大中型多晶硅制造廠得到應(yīng)用，效果非常好。

多晶硅設(shè)備主要清洗項(xiàng)目：

　　1、還原爐、氫化爐的清洗脫脂鈍化干燥

　　2、CDI系統(tǒng)設(shè)備的清洗脫脂鈍化干燥

　　3、還原氫化車(chē)間設(shè)備的清洗脫脂鈍化干燥

　　4、合成車(chē)間設(shè)備的清洗脫脂鈍化干燥

　　5、精餾工序設(shè)備的清洗脫脂鈍化干燥

　　6、中間罐區(qū)的清洗脫脂鈍化干燥

　　7、管道系統(tǒng)的清洗脫脂鈍化干燥